Este proyecto aborda el estudio de los fenómenos de nucleación atómica y crecimiento de películas delgadas sobre materiales piezoeléctricos sometidos a excitación acústica en atmósferas de plasma y vacío. Los materiales piezoeléctricos se caracterizan por la aparición de una polarización eléctrica no nula al someterlos a una deformación mecánica, y por el efecto contrario, la aparición de una deformación mecánica al someterlos a una excitación eléctrica y, en la actualidad, se emplean en multitud de aplicaciones y dispositivos, tales como sensores de lluvia, pantallas táctiles o manipulación de líquidos en la microescala, entre otros. En un trabajo seminal publicado por el grupo investigador se demostró que, al crecer una película delgada mediante técnicas de plasma sobre este tipo de superficies excitadas, ésta se estructuraba de acuerdo al patrón definido por las ondas. Este resultado inicial demostraba que la interacción entre la onda/película delgada en crecimiento podría utilizarse como nueva metodología de nanoestructuración de superficies. En este proyecto se aborda esta problemática de tipo fundamental, estudiando específicamente dos mecanismos principales de interacción: i) la transferencia directa de energía/momento de la onda acústica a las especies depositadas, y ii) la interacción entre la onda de polarización eléctrica que se propaga por el material piezoeléctrico y las líneas de campo eléctrico en el plasma, con incidencia directa en el transporte de especies cargadas y al bombardeo superficial selectivo del piezoeléctrico durante el crecimiento de la película. De esta manera, este proyecto se centra en la descripción, desarrollo y compresión de una nueva fenomenología, y en el desarrollo de todo el marco teórico y conceptual que permita entender dicha interacción. Se espera que la activación acústica de piezoeléctricos y su efecto en atmósferas de plasma se convierta en un nuevo procedimiento para inducir la formación de centros de nucleación para la micro- y nano-estructuración de películas delgadas, permitiendo nuevos desarrollos en el campo de la física de superficies. Asimismo, en el campo de la física del plasma, la posibilidad de modular la interacción entre el plasma y una superficie de acuerdo a un patrón definido por ondas electro-acústicas podría abrir procedimientos alternativos para operar dispositivos de microplasmas o pantallas de plasma.